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                    紫外臭氧清洗機

                    產(chǎn)品簡介

                    紫外臭氧清洗機是一種干法清洗設備,可用于清洗多種單晶基片,以成好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。

                    產(chǎn)品型號:DP-UV2
                    更新時間:2024-04-25
                    廠商性質:生產(chǎn)廠家
                    訪問量:586

                    product

                    產(chǎn)品分類
                    tel-phone

                    010-51298264

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                    詳細介紹在線留言
                    品牌YODP/亞歐德鵬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
                    應用領域環(huán)保,食品,化工,農(nóng)業(yè),綜合

                    紫外臭氧清洗機 型號:DP-UV2

                    概述

                    紫外臭氧清洗機是一種干法清洗設備,可用于清洗多種單晶基片,以成好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。

                    紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm,其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵);所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

                    參數(shù) 指標

                    材質 內(nèi)部采用不銹鋼材料

                    結構 抽屜式樣品臺,取、放基板簡單、方便

                    氣路 預留進氣接口,豐富設備的清洗種類

                    保護 抽屜開合與UV燈工作互鎖,避免紫外線傷害

                    計時 按鍵定時器,數(shù)顯倒計時,放便直觀

                    操作 清洗工作進程可以任意時間手動終止

                    可選配件 可選臭氧中和器,避免臭氧傷害

                    電氣 指標

                    清洗波段 185nm和254nm

                    距離UV燈3-5mm平均光強 28~32mW/cm2

                    燈管 雙波低壓汞燈X2

                    燈管功率 300W

                    燈管尺寸 300mm×300mm

                    照射區(qū)域 300mm×300mm(基臺尺寸305×340mm)

                    可調(diào)照射距離 5~60mm

                    定時器工作范圍 0~99min99s  具有自動倒計時功能

                    機械 指標

                    進、出氣口 進氣口:φ8mm,出氣口:φ50mm

                    設備外型尺寸 

                    長( 430mm)×寬( 380mm)×高( 320mm)

                    (含臭氧中和器的尺寸為)長580mm×寬380mm×高420mm

                    重量 26KG

                     


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